Электронно-зондовый микроанализ

В данной работе для исследования состава ЦТС пленок применялся метод электронно-зондового рентгеновского микроанализа (ЭЗМА)(ЭЗРМА). Этот метод является разновидностью рентгено-спектрального микроанализа (PCMA), при котором источником возбуждения рентгеновского излучения в образце является сфокусированный электронный пучок, а приемником выступает энерго­дисперсионный анализатор.

максимальной ионизации атома, при которой энергия возбуждения должна троекратно превышать энергию исследуемого элемента. Ток зонда подбирался исходя из загрузки детектора.

Измерение состава проводилось по прямоугольным областям размером 10?10 мкм и в точке. Ошибка измерения состава не превышала 0,5 ат. %.

Рисунок 2.9 Область генерации при взаимодействии пучка электронов с веществом 1 - оже-электронов; 2 - вторичных электронов; 3 - отраженных электронов; 4 - характеристического рентгеновского излучения; 5 - тормозного рентгеновского излучения; 6 - флюоресценции [140].

Для исследования распределения элементов по толщине образца использовался метод изменения глубины генерации характеристического излучения. Метод состоял в следующем: изменяя угол падения первичного электронного пучка, мы изменяли глубину генерации сигнала, тем самым могли зафиксировать соотношение химических элементов, входящих в состав пленки на разной глубине пленки, рисунок 2.10.

Первичный электронный пучек

Рисунок 2.10 Изменение глубины генерации характеристического рентгеновского излучения путем изменения угла падения первичного электронного пучка.

2.3.5