Нанесение контактных площадок
Для проведения электрических измерений на отожженные пленки наносились электроды. Для нанесения верхних платиновых электродов применялся метод ВЧ магнетронного распыления. На мини-установке Quorum Technologies SC7620 (рисунок 2.2) проводилось напыление контактных площадок через заранее подготовленные трафареты, которые закрывали площадь пленки, оставляя лишь квадратные области для осаждения распыляемого металла.
Рисунок.2.2 Изображение мини-установки по напылению Quorum SC7620.
Толщина нанесенных электродов составляла 60-80 нм, а размер контактных площадок составлял 120?120 мкм, 210x210 мкм и 520x520 мкм. Стоит упомянуть, что откачка вакуумной системы осуществлялась форвакуумным насосом до давления 2?10'2Topp, рабочим газом выступал аргон высокой чистоты. Схематическое изображение тонкопленочной структуры с нанесённым верхним электродом представлено на рисунке 2.3.
Рисунок 2.3 Схематическое изображение тонкопленочной структуры с нанесённым верхним платиновым электродом. Толщина SiO2 = 500 нм, Ti = 20 нм, Pt = 100 нм и Pt = 60 ÷ 80 нм для нижнего и верхнего электродов соответственно, ЦТС = 300 ÷ 1000 нм.
Еще по теме Нанесение контактных площадок:
- Метод пробных площадок.
- 3. Строительство дорог и площадок
- Ответственность за нанесение вреда окружающей среде
- Краткая характеристика основных торговых площадок
- б) принципы проектирования автомобильных дорог и площадок
- Контактные линзы
- 2. Проектирование и строительство подъездных и внутрихозяйственных автомобильных дорог и площадок
- Правила нанесения обстановки на карту
- Носить контактные линзы полезно?
- Снимите контактные линзы!
- 4.2. Оценка ущерба, нанесенного основным средствам
- В.Ответственность за повреждения, нанесенные не лицом отвечающим
- Контактные ощущения
- Классификация материалов для контактных линз
- 1.2. Анализ конструкций теплоутилизаторов контактного типа
- Контактные вопросы.
- Клинические аспекты ношения контактных линз
- Рекомендации по обеспечению качества и применению вибрационных технологий для нанесения химико-механических покрытий
- К юрисдикции братчины могли быть отнесены состоявшиеся на пиру кражи, но не бои (нанесение побоев).
- 1.6. Характеристика мягких контактных линз в зависимости от способа производства