ОГЛАВЛЕНИЕ

ВВЕДЕНИЕ......................................................................................................... 4

ГЛАВА 1. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА

(ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ)..................................................................................

1.1. Нормальный и послойный рост кристаллов....................................... 13

1.2. Кинетические коэффициенты роста граней и их анизотропия........... 17

1.3. Морфология кристаллов, растущих послойным механизмом........... 20

1.4. Влияние примесей на кинетику роста кристаллов из расплава.......... 23

ГЛАВА 2. РАСЧЕТ СКОРОСТИ РОСТА КРИСТАЛЛА ИЗ РАСПЛАВА.. 33

2.1. Расчет истинной скорости роста кристалла способом Чохральского.... 33

2.2. Теоретические оценки асимметрии скоростей роста и плавления

кристаллов.................................................................................................... 52

ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОПРЕДЕЛЕНИЕ КИНЕТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК РОСТА ИЗ РАСПЛАВА КРИСТАЛЛОВ ПАРАТЕЛУРИТА

И ГЕРМАНИЯ.................................................................................................. 62

3.1. Выращивание кристаллов парателлурита способом Чохральского.. 62

3.1.1. Ростовые параметры................................................................... 62

3.1.2. Гидродинамика расплава............................................................ 63

3.1.3. Измерения температурных полей............................................... 69

3.1.3.1. Измерения с помощью термопар............................................. 69

3.1.3.2. Измерения с помощью тепловизионных инфракрасных

камер............................................................................................................. 71

3.1.3.3. Измерения с помощью цифровых фото-видеокамер.............. 76

3.1.4. Измерения константы испарения расплава диоксида теллура...

3.2. Выращивание кристаллов германия способом Чохральского........... 91

3.2.1. Ростовые параметры................................................................... 91

3.2.2. Гидродинамика расплава............................................................ 93

3.2.3. Измерения температурных полей............................................... 98

3.2.3.1. Измерения с помощью термопар............................................. 98

3.2.3.2. Измерения с помощью цифровых фото-видеокамер............ 107

3.3. Расчеты кинетических коэффициентов............................................... Illl

3.3.1. Кинетические коэффициенты при росте кристаллов

парателлурита............................................................................................... Illl

3.3.2. Кинетические коэффициенты при росте кристаллов германия. 1122 ГЛАВА 4. ВЛИЯНИЕ КИНЕТИКИ НА МОРФОЛОГИЮ И ОБРАЗОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ СТУКТУРЫ КРИСТАЛЛОВ ПАРАТЕЛЛУРИТА И

ГЕРМАНИЯ.................................................................................................. 1144

4.1. Морфология кристаллов парателлурита и ее связь с кинетикой

кристаллизации......................................................................................... 1144

4.2. Морфология кристаллов германия и ее связь с кинетикой

кристаллизации......................................................................................... 1177

4.3. Дефекты структуры кристаллов парателлурита и связь их образования с

ростовой кинетикой.................................................................................. 1244

4.4. Дефекты структуры кристаллов германия и связь их образования с

ростовой кинетикой.................................................................................. 1333

ЗАКЛЮЧЕНИЕ.............................................................................................. 142

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ.............................................................................. 146