Просвечивающая электронная микроскопия
В просвечивающей электронной микроскопии регистрируются эффекты дифракционного контраста, возникающего как результат взаимодействия электронного пучка со смещёнными атомами в полях напряжений вокруг дислокаций [71-74].
Данный метод может быть использован пригоден для любого материала, который готовится в виде тонкой фольги, прозрачной и устойчивой по отношению к электронному пучку при заданном напряжении. Большое увеличение и мощность электронного микроскопа позволяет изучать дислокационные петли в несколько нанометров, а также узлы, образованные пересечением дислокаций в сетке. Дислокации видны только в случае, когда есть компонента вектора Бюргерса, нормальная к отражающим плоскостям, формирующим дифракционный контраст, как при рентгеновской топографии, а также имеется возможность определения вектора Бюргерса дислокации.Исследования образцов германия проводились на просвечивающем электронном микроскопе (ПЭМ) Tecnai G2 F20 U-Twin.
Рисунок 2.12- (ПЭМ) Tecnai G2 F20 U-Twin.
Подготовка образцов для исследования включала ультразвуковую вырезку исходных дисков диаметром 3 мм, механическое утоньшение шлифовкой до толщины 10... 12 мкм, и последующее окончательное утоньшение на установке ТЕМ Mill (модель 1050) фирмы Fischione Instruments. Утоньшение осуществлялось бомбардировкой поверхности образца ионами
аргона (углы наклона двух пучков к поверхности образца ~10o, ускоряющее напряжение 4 кВ. Энергия бомбардирующих ионов могла изменяться за счет изменения ускоряющего напряжения. Есть возможность изменять интенсивность воздействия пучка, меняя углы между пучком падающих ионов и поверхностью образца; и меняя количество бомбардирующих ионов за счет управления потоками аргона. Образец на данной установке утонялся локально до образования конусного отверстия со стороны плоской поверхности образца.
Перед проведением измерений исследуемого образца в рабочую камеру устанавливается эталонный образец, по которому проверяется калибровка установки в целом. При калибровке аппаратного комплекса используется эталон островкового золота на пленке из аморфного углерода, нанесенной на поддерживающую медную сетку "Grating Replica, Waffle, 2160 lines∕mm; Product № 607 Ted Pella Inc", соответствующий стандарту ISO 9001/9002 URS и имеющий сертификат Cert. 2629∕2629B 9/00.
После завершения анализа производится окончательная обработка полученных результатов. Результаты измерений представляются в специализированном формате программного обеспечения с расширением *.emi. Кроме того, программное обеспечение позволяет сохранять результаты измерений в текстовом (ASCII) и графическом форматах с расширением *.jpg и *.tif
2.2.6
Еще по теме Просвечивающая электронная микроскопия:
- Исследования микроструктуры на просвечивающем электронном микроскопе
- Просвечивающая электронная микроскопия (ТЁМ) и технология фокусированного ионного пучка
- Электронная микроскопия
- 2.2.4 Растровая электронная микроскопия
- Исследования поверхности с помощью растрового электронного микроскопа
- Глава 2. Технологические основы современных сканирующих зондовых микроскопов. Обзор основных методик туннельной микроскопии. Нанотехнологический комплекс «YMKA-02G»
- Статья 62. Реестр участников электронного аукциона, получивших аккредитацию на электронной площадке
- Статья 61. Аккредитация участников электронного аукциона на электронной площадке
- 4.5 Электронные коммуникации 4.5.1 Электронная почта
- 7. Электронное бессмертие как путь перехода к электронной цивилизации.
- § 3. Соотношение понятий электронных денежных средств и электронного средства платежа
- Световая микроскопия
- Оптическая микроскопия поверхности пленок
- Статья 59. Аукцион в электронной форме {электронный аукцион)
- Темнопольная микроскопия