Химическое осаждение из газовой фазы (ХОГФ)
Химическое осаждение из газовой фазы (ХОГФ) является процессом, в котором осуществляется химическая реакция летучего компонента осаждаемого материала с другими газами для создания нелетучего твердого вещества, которое осаждается на специально расположенную подложку.
Методы химического осаждения из газовой фазы.
К настоящему времени разработано много разновидностей метода химического осаждения из газовой фазы и реакционных камер для химического осаждения из газовой фазы, которые отличаются типом используемых прекурсоров, условиями осаждения и формами энергии, которая подводится в
систему для протекания химических реакций, необходимых для осаждения твердотельных пленок на подложки. Например, когда в качестве прекурсоров используются металлорганические соединения, процесс обычно называют химическим осаждением из паров металлорганических соединений (органометаллической эпитаксией из газовой фазы, MO ХОГФ) [34,35,36], а когда для активации химических реакций используется плазма, метод называют химическим осаждением из газовой фазы, стимулированным плазмой (плазмоактивируемое осаждением из газовой фазы ПА ХОГФ). Существуют и другие модификации метода химического осаждения из газовой фазы, такие как химическое осаждение из газовой фазы низкого давления (ХОГФ НД), лазерно- стимулированное химическое осаждение из газовой фазы и аэрозольное испарение из газовой фазы.
1.2.4
Еще по теме Химическое осаждение из газовой фазы (ХОГФ):
- Атомно-слоевое осаждение
- Осаждение распылением.
- Импульсное лазерное осаждение
- Помимо усилий по выявлению необходимых благоприятных условий для химической эволюции, создаются теории, в которых объясняются варианты химической эволюции при возможных неблагоприятных условия
- Вредные факторы производственной среды химического происхождения Источники вредных факторов химического происхождения на производстве
- Рост из жидкой фазы
- ФАЗЫ ОПРОСА
- Газовый состав воздуха.
- § 20. Три фазы в звуках речи.
- 3.1.3 Продолжительность второй фазы сгорания и особенности ее протекания при добавке водорода.
- Расчет температуры, количества и состава газов после дожигания
- VI. Поражение глаз газовым оружием самообороны
- 3.1.4 Продолжительность третьей фазы сгорания и особенности ее протекания при добавке водорода.
- § 6.7. СЖИЖЕНИЕ ГАЗОВ
- ВЛИЯНИЕ ГЛЕЕОБРАЗОВАНИЯ НА УДЕЛЬНУЮ ПОВЕРХНОСТЬ ТВЕРДОЙ ФАЗЫ
- Белки острой фазы