Импульсное лазерное осаждение

Импульсное лазерное осаждение - это способ получения пленок, при котором мощным лазерным пучком происходит испарение твердотельной мишени и дальнейшая конденсация на подложке. Отличительной чертой является возможность использования нескольких мишеней, которые возможно использовать как одновременно, так и раздельно, тем самым меня состав получаемых пленок. Пленки, полученные методом ИЛО, исследовались в работах [39,40].

1.2.6