Атомно-слоевое осаждение
Ещё одним метод, который используется для получения ЦТС пленок - метод атомно-слоевого осаждения (ACO). ACO является уникальным методом выращивания тонких пленок и существенно отличается от других способов осаждения.
Отличительная черта осаждения атомных слоев - самоограничивающая природа роста, благодаря которой каждый раз возможно нарастание только одного атомного или молекулярного слоя. Следовательно, осаждение атомных слоев обеспечивает оптимальный способ управления толщиной пленки и гладкостью поверхности на действительно нанометровом или субнанометровом уровне. В типичном процессе осаждения атомных слоев поверхность вначале активируют с помощью химической реакции. Когда молекулы прекурсора вводят в камеру, где происходит осаждение, они реагируют с активными центрами поверхности, образуя химические связи с подложкой. Так как молекулы прекурсора не взаимодействуют друг с другом, на этой стадии может быть осажден только один молекулярный слой. Затем монослой молекул прекурсора, которые химически связаны с подложкой, снова активируют с помощью поверхностной реакции. Либо одинаковые, либо различные молекулы прекурсора последовательно вводятся в камеру, где происходит осаждение, и тамони реагируют с активированным ранее осажденным слоем. Таким образом последовательно осаждаются следующие молекулярные или атомные слои, причем на каждом этапе происходит формирование одного слоя [37,38].
По сравнению с другими методами осаждения из газововой фазы осаждение атомных слоев обладает следующими преимуществами: прецизионное регулирование толщины пленки и равномерность покрытия.
1.2.5
Еще по теме Атомно-слоевое осаждение:
- Осаждение распылением.
- Химическое осаждение из газовой фазы (ХОГФ)
- Импульсное лазерное осаждение
- Классификация типов адсорбционных слоев и теоретических подходов к их исследованию
- Атомный ледокольный флот
- Гиперкорректные модели нижних слоев среднего класса
- Атомно-силовая микроскопия
- 94. Атомная энергетика мира
- Программа атомной бомбы
- 1.4. Влияние спонтанной поляризации на свойства интерфейсных слоев в пленочных сегнетоэлектриках
- Золото, полученное в атомном реакторе
- Создание атомного оружия в СССР
- 18.11. Нарушение правил безопасности на объектах атомной энергетики (ст. 215)
- Глава 1. Теоретические подходы к исследованию структурных и термодинамических характеристик адсорбционных слоев
- Нарушение правил безопасности на объектах атомной энергетики (ст. 215 УК РФ)
- 6. Атомное оружие
- Зависимость диэлектрических характеристик образцов керамики BTS от числа слоев с разной концентрацией олова.
- Страхование атомных рисков
-
Альтернативные научные исследования по физике -
Основы физики -
Физика конденсированного состояния -
-
Архитектура и строительство -
Безопасность жизнедеятельности -
Библиотечное дело -
Бизнес -
Биология -
Военные дисциплины -
География -
Геология -
Демография -
Диссертации России -
Естествознание -
Журналистика и СМИ -
Информатика, вычислительная техника и управление -
Искусствоведение -
История -
Культурология -
Литература -
Маркетинг -
Математика -
Медицина -
Менеджмент -
Педагогика -
Политология -
Право России -
Право України -
Промышленность -
Психология -
Реклама -
Религиоведение -
Социология -
Страхование -
Технические науки -
Учебный процесс -
Физика -
Философия -
Финансы -
Химия -
Художественные науки -
Экология -
Экономика -
Энергетика -
Юриспруденция -
Языкознание -