Результаты исследовательских испытаний экспериментальных образцов нелегированных и легированных неупорядоченных полупроводников.

Исследовательские испытаний проводились как для экспериментального образца нелегированного неупорядоченного полупроводника состава GST-225, так и для легированного

Методом рентгеноспектрального анализа установлено, что нелегированный образец имеет стехиометрический состав и чистота материала 99,9%.

Для нелегированного образца были получены следующие экспериментальные данные (табл. 4.1):

Табл. 4.1 Экспериментальные данные для нелегированного образца

Рис. 4.3 Топология нелегированного образца GST.

В легированном азотом образце концентрация легирующей примеси установлена -

5,2 ат.%. Для легированного азотом образца были получены следующие

экспериментальные данные (табл. 4.2):

Табл. 4.2 Экспериментальные данные для легированного азотом образца

Рис. 4.5 Топология легированного азотом образца GST.

Анализ состава легированного бором образца показал что концентрация примеси составляет 5,3 ат.%. Для легированного бором образца были получены следующие экспериментальные данные (табл. 4.3):

В ходе испытаний были исследованы образцы ХСП нелегированные, легированные азотом и бором. Нелегированный образец получен в стехиометрическом составе и в результате этого обладает показателями, указанными в таблице 4.1.

Табл. 4.3 Экспериментальные данные для легированного бором образца

В легированном азотом образце достигнута необходимая концентрация не менее 5 ат.%.

превзошли ожидаемые характеристики. Образец выдержал IO¹¹циклов перезаписи, что больше ожидаемого.

Рис. 4.6 Топология легированного бором образца GST.

Образец, легированный бором, в своем составе имеет так же не менее 5 ат.% атомов бора. В результате испытаний образец превзошел нелегированный. Он выдержал IO^s циклов перезаписи. Это больше чем в нелегированном образце на IO^zраз.

4.3.