Список литературы

1 Maluf N., Williams K. An Introduction to Inicroelectromechanical systems engineering [Текст] ∕ N.Maluf, KWilliams -2nd ed. London : - Artech House Inicroelectromechanical library, 2004.

2 Development and characterization of membranes actuated by a PZT thin film for MEMS applications [Текст] ∕ C. Zinck, D. Pinceau, D. Defay, E. Delevoye, D. Barbier ∕∕ Sensors and Actuators A. - 2004. - Vol. - 115. - P. 483 - 489.

3 Scott J. F. Data storage Multiferroic memories [Текст] ∕ J. F. Scott ∕∕ Nature Materials. - 2007. - Vol. 6. - Is. 4. - P. 256 - 257.

4 Bea H. Spintronics with multiferroics [Текст] ∕ H. Bea, M. Gajek, M. Bibes, A. Barthelemy ∕∕ Journal Physics: Condenser Matterials. - 2008. - Vol. 20. - P. 1-11.

5 Khomskii D. Classifying multiferroics: Mechanisms and effects [Текст] ∕ D. Khomskii ∕∕ Physics. - Vol. 2. - 2009. - P. 1 - 20.

6 Yao M.G., Xle Y.R., Huang D. F. Techniques for reducing flexure distortion and gimbal separation for thin-film pzt micro-actuators of head gimbal assemblies [Текст] ∕ M.G. Yao, Y.R. Xle, D. F. Huang ∕∕ United States Patent Application Publication. - US 2008/0144225.

7 Health monitoring of steel structures using impedance of thickness modes at PZT patches [Текст] ∕ S.Park C.B.Yun, Y.Roh, J.J.Lee ∕∕ Smart Structures and Systems. - 2005. - V. 1. - is. 4. - P.339 - 353.

8 Gilchrist K. H., Dausch D. E., Grego S. Electromechanical performance of piezoelectric scanning mirrors for medical endoscopy [Текст] ∕ H. K. Gilchrist, D. E. Dausch, S. Grego ∕∕ Sensors and Actuators A Physics. - 2012. - Vol. 178 - P. 193 - 201.

9 Development of piezoelectric MEMS deformable mirror [Текст] ∕ M. Sato, S.Tsuda, I. Kanno, H. Kotera, O. Tabata ∕∕ Microsystem Technology.

10 Scott J. F., Araujo C. A. Ferroelectric Memories [Текст] ∕ J.F. Scott, C. A. Araujo ∕∕ Science. - 1989. - Vol. 246. - P. 1400 - 1405.

11 Tejuca L.G. Properties of perovskite-type oxides II: Studies in catalysis [Текст] ∕ L.G. Tejuca ∕∕ Journal of the Less Common Metals. - 1989. - Vol. 146. - P. 261 - 270.

12 Otsuki T., Arita K. Quantum jumps in FeRAM technology and performance [Текст] ∕ T. Otsuki, K. Arita ∕∕ Integrated Ferroelectrics: An International Journal. - 1997. - Vol. 17-is. 1-4. -P.31 -43.

13 Eerenstein W., Mathur N. D., Scott J. F. Multiferroic and magnetoelectric materials [Текст] ∕ W. Eerenstein, N. D. Mathur, J. F. Scott ∕∕ Nature. - 2006. - Vol. 442. - P. 759 - 765.

14 Takagi T., Nishimoto K., Uchimoto T. Advanced Inspection and Repair Welding Techniques for SCC Countermeasures [Текст] ∕ T. Takagi, K. Nishimoto, T. Uchimoto ∕∕ Third International Conference on Nuclear Power Plant Life Management (PLiM) Salt Lake City, USA 2012.

15 Optimization of PbTiO₃ seed layers and Pt metallization for PZT-based piezoMEMS actuators [Текст] ∕ L. M. Sanchez, D. M. Potrepka, G. R. Fox, I. Takeuchi, K. Wang L.A. Bendersky, R. G. Polcawich ∕∕ Journal Materials Research. - 2013. - Vol. 28. - N. 14.-P. 1920- 1931.

16 Muralt P. Ferroelectric thin films for micro-sensors and actuators: a review [Текст] ∕ P. Muralt ∕∕ J. Micromechanics and Microengineering. - 2000. - Vol. 10. - P. 136 — 146.

17 Noheda B. L. Wu, Y. Zhu Low-temperature superlattice in monoclinic Pb(Zro_{55 2}Ti_0s48)O₃ ∕ Noheda B., ∕∕ Physical Review B. 2002. V. 66. P. 060103(R).

18 Vanderbilt D. Cohen M.H. Monoclinic and triclinic phases in higher-order Devonshire theory [Текст] ∕ D. Vanderbilt, ∕∕ Physical Review B. - 2001. Vol. 63. N. 9. -P. 094108.

19 Damjanovic, D. Ferroelectric, dielectric and piezoelectric properties of ferroelectric thin films and ceramics [Текст] ∕ D. Damjanovic ∕∕ Reports on Progress in Physics. - 1998. - Vol. 61. - P. 1267 - 1324.

20 Dawber M. Physics of thin-film ferroelectric oxides [Текст] ∕ M. Dawber, K. M. Rabe, J. F. Scott ∕∕ Reviews of Modem Physics. - 2005 - V. 77. - P. 1083 - 1124.

21 Strain Tuning OfFerroelectric Thin Films [Текст] ∕ D. G. Schlom, L. Q. Chen, Ch. B. Eom, K. M. Rabe, St. K. Streiffer, J. M. Triscone ∕∕ Annual Reviews Materials Research. -2007. - Vol. 37. - P. 589 - 626.

22 Shaw T.M., Trolier-McKinstry S., McIntyre P.C.The properties of ferroelectric films at small dimensions [Текст] ∕ TM. Shaw, S. Trolier-McKinstry, P.C. McIntyre ∕∕ Annual Review OfMaterials Science. - 2000. - Vol. 30. - P. 263 - 298.

23 Junquera J., Ghosez Ph. Critical thickness for ferroelectricity in perovskite ultrathin films [Текст] ∕ J. Junquera, Ph. Ghosez ∕∕ Nature. - 2003. - Vol. 422. - P. 506 - 509.

24 Herman M. A., Sitter H. Molecular beam epitaxy: fundamentals and current status [Текст] ∕ M. A. Herman, H. Sitter. - 2nd, rev. and updated ed. Berlin: Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 1989. - 455 p.

25 Growth Behavior of Atomic-Layer-Deposited Pb(Zr₅Ti)O_x Thin Films on Planar Substrate and Three-Dimensional Hole Stmctures [Текст] ∕ T. Watanabe, S. offmann- Eifert, Ch. S. Hwang, R. Waser ∕∕ Journal of The Electrochemical Society. - 2008. - Vol. 155.-is. 11.-P. D715-D722.

26 Dependence of electrical properties of epitaxial Pb(Zr₅Ti)O₃ thick films on crystal orientation and Zr∕(Zr+Ti) ratio [Текст] ∕ Sh. Yokoyama₅ Y. Honda, H. Morioka₅ Sh. Okamoto, H. Funakubo₅ T. Iijima₅ H. Matsuda, K. Saito, T. Yamamoto, H. Okino₅ O. Sakata, Sh. Kimura ∕∕ Journal of Applied Physics.

27 Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb(Zr₅Ti)O₃[Текст] ∕ I. Kanno₅ Y. Yokoyama₅ H. Kotera₅ K. Wasa ∕∕ Physical Review B. - 2004. Vol. 69. - P. 064103.

28 Ohring M. The materials science of thin films [Текст] ∕ M. Ohring - San Diego: Academic Press, 1992. - 704 p.

29 Гетероэпитаксиальный рост пленок сложного оксида из самоорганизованной системы, образующейся в плазме газового разряда [Текст] / В.М. Мухортов, Ю.И. Головко, Г.Н. Толмачев, А.И. Мащенко // Журнал технической физики. - 1999. - Т. 69.-вып. 12.-С.87-91.

30 Сергеева О. Н. Пироэлектрические свойства тонких пленок цирконата титаната свинца, сформированных на подложках из ситалла, кремния и стали [Текст] : дис. ... канд. физ,- мат. наук: 01.04.07 / Сергеева Ольга Николаевна. - Тверь, 2006. - 138 с.

31 Сенкевич С.В.Особенности кристаллизации и сегнетоэлектрических свойств тонких поликристаллических пленок цирконата-титаната свинца, полученных двухстадийным методом [Текст] : дис. ... канд. физ,- мат. наук: 01.04.07 / С. В. Сенкевич; науч. рук. А.Н. Броздниченко; РГПУ им. А. И. Герцена - СПб., 2011. - 166 с.

32 Особенности кристаллизации поликристаллических тонких пленок PZT, сформированных на подложке Si∕SiO₂∕Pt [Текст] / И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, В.А. Климов, Н.В. Зайцева // Физика твердого тела. - 2010. - Т. 52.-Вып. Г-С. 124-128.

33 Bose A. Influence of processing conditions on the structure, composition and ferroelectric properties of sputtered PZT thin films on Ті-substrates [Текст] ∕ A. Bose, M. Sreemany ∕∕ Applied Surface Science. 2014. - Vol. 289. - P. 551-559.

34 Film Thickness Dependence of Electrical Properties for Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films Prepared on (11 l)Ir∕TiO₂∕SiO₂∕Si and (11 l)Pt∕TiO₂∕SiO₂∕Si Substrates by Pulsed- Metalorganic Chemical Vapor Deposition [Текст] ∕ T.

35 Preparation and electrical properties of MOCVD-deposited PZT thin, films [Текст] /Y. Sakashita, T. Ono, H. Segawa, K. Tominaga, M. Okada ∕∕ Journal of Applied Physics. - 1991. - Vol. 69. - N. 12. - P. 8352-8357.

36 Chen S.-Y. Temperature-Time Texture Transition OfPb(Zr_bxTi_x)O₃T hin Films: II, Heat Treatment and Compositional Effects [Текст] ∕ S.-Y. Chen, 1-М.Chen ∕∕ Journal American Ceramic Society. - 1994. - Vol. 77. - is.9. - P. 2337 - 2344.

37 Growth Behavior of Atomic-Layer-Deposited Pb(Zr₅Ti)O_x Thin Films on Planar Substrate and Three-Dimensional Hole Structures [Текст] ∕ T. Watanabe, S. Hoffmann-

Eifert, Ch. S. Hwang, R. Waser ∕∕ Journal of The Electrochemical Society. - 2008. - Vol. 155.-is. 11.-P. D715-D722.

38 Dielectric and ferroelectric properties of pulsed laser deposited lead zirconate titanate (65/35) thin film [Текст] ∕ S.K. Pandey, A.R. James, Ch. Prakash, T.C. Goel , K. Zimik//Thin Solid Films. - 2006. - V.513. - N.I. - P. 95-98.

39 Investigation of Optical and Electrical Properties of Pb(Zr_bxTi_x)O₃ Thin Films on Different Substrates [Текст] ∕ E. Kafadaryan, N. Aghamalyan, S. Nikogosyan, H. Shirinyan, A. Manukyan, A. Hayrapetyan, G. Badalyan, Y. Song, N. Wu, A. Ignatiev ∕∕ Japanese Journal of Applied Physics. - 2006 - Vol. 45. - N. ЗА. - P. 1702-1704.

40 Muralt P. Micromachined infrared detectors based on pyroelectric thin films [Текст] ∕∕ Reports on Progress in Physics 2001. - Vol. 64. - P. 1339-1388.

41 Гочжун Ц. Наноструктуры и наноматериалы. Синтез свойства и применение [Текст] / Цао Гочжун, Ин Ван пер. с англ. 2-го издания А.И. Ефимова, С. И. Каргов. - M.: Научный мир, 2012. - 520 с.

42 Dey S. К. Integrated sol-gel PZT thin-films on Pt, Si, and GaAs for non-volatile memory applications [Текст] ∕ S.

43 Dey S.K. Processing and parameters of sol-gel PZT thin-films for GaAs memory applications [Текст] ∕ S. K. Dey, R. Zuleeg ∕∕ Ferroelectrics. - 1990. - V. 112. P. 309 - 319.

44 Xu Y. Ferroelectric thin films prepared by sol-gel processing [Текст] ∕ Y. Xu, J D. Mackenzie ∕∕ Inregrated Ferroelectrics. - 1992. - Vol. 1. - P. 17 - 42.

45 Structure And Properties Of Sol-Gel PbZrTiO₃ Thin Films [Текст] ∕ V. V. Lemanov, N. V. Zaitseva, S. V. Shtelmakh, A. V. Motomy, V. K. Yarmarkin ∕∕ Ferroelectrics. - 1990.-Vol. 108.-P. 231-236.

46 Кинетика фазовых превращений при термическом отжиге в тонких золь-гель- пленках PZT [Текст] / В.Я. Шур, Е.Б. Бланкова, А.Л. Субботин, Е.А. Борисова, А.В. Баранников // Физика твердого тела, 2001, том 43, вып. 5.

47 PZT Thin-Film Meso- and Micro Devices [Текст] ∕ I. Y. SHEN, G. Z. CAO, Ch.- Ch. WU, CH.-CH. Lee ∕∕ Ferroelctrics. - 2006. - Vol. 342. - P. 15 - 34.

48 Calame F. Growth and properties of gradient free sol-gel lead zirconate titanate thin films [Текст] ∕ F. Calame, P. Muralt ∕∕ Applied Phesics Letters. - 2007. - Vol. 90. - P. 062907.

49 Processing, Structure, Properties, and Applications of PZT Thin Films [Текст] ∕ N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, and H. Morkog, H. Lee, Y.-S. Kang ∕∕ Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences. - 2007. - Vol. 32. - P. 111-202.

50 Ferroelectric Properties of ALdoped Lead Titanate Zirconate Thin Films Prepared by Chemical Solution Deposition Process [Текст] ∕ T. Iijima, G. He, Zh. Wang, H. Tsuboi, K. Hiyama, M. Okada ∕∕ Japan Journal Applied Physics. - 2000. - Vol. 39. - N. - 9B. - P. 5426 - 5428.

51 Origin of morphotropic phase boundaries in ferroelectrics [Текст] ∕ M. Ahart, M. Somayazulu, R.E. Cohen, P. Ganesh, Prz. Dera, H. Mao, R. J. Hemley, Y. Ren, P. Liermann, Zh. Wu ∕∕ Nature. - 2008. - V.451. - is.7178. - P. 545 - 549.

52 Shirane G. Phase transitions in solid solutions of PbZrO₃ and PbTiO₃ (II) X-ray Study [Текст] ∕ G. Shirane, K. Suzuki, Ak. Takeda ∕∕ Journal of the Physical Society of Japan. - 1952. - Vol. 7. - N. 1. - P. 12-18.

53 Sawaguchi E. ferroelectricity versus Antiferroelectricity in the Solid Solution of PbZrO₃ and PbTiO₃[Текст] ∕ E. Sawaguchi ∕∕ Journal of the Physical Society of Japan.

- 1953. - Vol. 8. - N. 5. - P. 615-629.

54 A monoclinic ferroelectric phase in the Pb(Zr₅Ti)O₃ solid solution [Текст] ∕ B. Noheda, D. E. Cox, G. Shirane; J. A. Gonzalo, L. E. Cross, S-E. Park ∕∕ Applied Physics Letters. - 1999. - Vol. 74. - is. 14. - P. 2059-2061.

55 Пьезоэлектрическая керамика [Текст] ∕ Б. Яффе, У. Кук, Г. Яффе ; Перевод с англ. M. М. Богачихина [и др.] ; Под ред. д-ра физ.-мат. наук Л. А. Шувалова. - Москва : Мир, 1974. - 288 с.

56 Compositional Change and Compositional Fluctuation in Pb(Zr₅Ti)O₃ Containing Excess PbO [Текст] ∕ K. Kakegawa, O. Matsunga, T. Kato, Y. Sasaki ∕∕ Journal of the American Ceramic Society. - 1995. - Vol. 78. - is. - 4. - P. 1071 - 1075.

57 Mishra S.K. Effect of phase coexistence at morphotropic phase boundary on the properties OfPb(Zr_xTi_bx)O₃ ceramics [Текст] ∕ S. K. Mishra, D. Pandey, A. P. Singh ∕∕ Applied Physics Letters. - 1996. - Vol. 69. - is. 12. - P. 1707 - 1709.

58 Change of the weak-field properties of Pb(Zr₅Ti)O₃ piezoceramics with compressive uniaxial stresses and its links to the effect of dopants on the stability of the polarizations in the materials [Текст] ∕ Q.M. Zhang; J. Zhao; K. Uchino; J. Zheng ∕∕ Journal of the Materials Research. - 1997. - Vol. 12. - is. 1. - P. 226 - 234.

59 Neutron Scattering Studies of Compositional Heterogeneity in Sol-Gel Processed Lead Zirconate Titanates [Текст] ∕ A. P. Wilkinson, J. Xu₅ S. Pattanaik₅ S. J. L. Billinge //ChemistryMaterials. - 1998. - Vol. 10. - P. 3611 -3619.

60 Cao W., Theoretical model for the morphotropic phase boundary in lead zirconate - lead titanate solid solution [Текст] ∕ W. Cao, L. E. Cross ∕∕ Physical Review B. - 1993. -V. 47. - N. 9. -4825-4830.

61 A monoclinic ferroelectric phase in the Pb(Zr_bxTi_x)O₃ solid solution [Текст] ∕ B. Noheda₅ D.E.Cox, G.Shirane₅ J.A.Gonzalo, L.E.Cross, S.-E.Park ∕∕ Applied Physics Letters. - 1999. - Vol. 74. - N. 14. P. 2059 - 2061.

62 Noheda B. Stability of the monoclinic phase in the ferroelectric perovskite Pb(Zr_{b x}Ti_x)O₃[Текст] ∕ B. Noheda₅ D. E. Cox₅ G. Shirane ∕∕ Physical Review B. - 2000. - V. 63.-N. 014103.-P. 1-9.

63 Origin of the High Piezoelectric Response in Pb(Zr_bxTi_x)O₃[Текст] ∕ R. Guo₅ L. E. Cross S.-Е. Park, B. Noheda₅ D. E. Cox₅ G. Shirane ∕∕ Physical Review Letters. - 2000. - Vol.84. - is. 23. - P. 5423 - 5426.

64 Universal phase diagram for high-piezoelectric perovskite systems [Текст] ∕ D. E. Cox₅ B. Noheda₅ G. Shirane₅ Y. Uesu₅ K. Fujishiro₅ Y. Yamada ∕∕ Applied Physics Letters. -2001. - Vol. 79. - N. 3. P. 400-402.

65 Thermodynamic theory of the lead zirconate-titanate solid solution system, Part I: Phenomenology [Текст] ∕ M. J. Haun, E. Furman, S.J. Jang, L. E. Cross ∕∕ Ferroelectrics. - 1989 Vol. 99. - P. 13 - 25.

66 Saghi-Szabo G. First-principles study of piezoelectricity in tetragonal PbTiO₃ and PbZrι∕₂Tiι∕₂O₃[Текст] ∕ G. Saghi-Szabo, R. E. Cohen, H. Krauker ∕∕ Physical Review B.

- 1999. Vol. 59. - N. 20. - P. 771 - 776.

67. Bellaiche L. Intrinsic Piezoelectric Response in Perovskite Alloys: PMN-PT versus PZT [Текст] ∕ L. Bellaiche, D. Vanderbilt ∕∕ Physical Review Letters. - 1999. - Vol.83. -N.7. - P. 1347- 1350.

68 Iwata M. Anisotropy of Piezoelectricity near Morphotropic Phase Boundary in Perovskite-Type Oxide [Текст] ∕ M. Iwata, H. Orihara, Y. Ishibashi ∕∕ Ferroelectrics. - 2002. - Vol. 266. - P. 57-71.

69 Iwata M. Phenomenological Theory of Morphotropic Phase Boundary with Monoclinic Phase in Solid-Solution Systems of Perovskite-Type Oxide Ferroelectrics [Текст] ∕ M. Iwata, Y. Ishibashi ∕∕ Japanese Journal of Applied Physics. - 2005. - Vol. 44. - N. 5A. - P. 3095-3098.

70 Ishibashi Y. A Theory OfMorphotropic Phase Boundary in Solid-Solution Systems of Perovskite-Type Oxide Ferroelectrics [Текст] ∕ Y. Ishibashi, M. Iwata ∕∕ Japanese Journal of Applied Physics. - 1999. - Vol. 38. - N. 2A. - P. 800 - 804.

71 Ishibashi Y. On the 74 K Phase transition in Haxagonal Barium Titanate [Текст] ∕ Y. Ishibashi ∕∕ Journal of the Physical Society of Japan. - 2001. Vol. 70. - N. 7. - P. 2228

- 2229.

72 Ishibashi Y. Phenomenology OfElastic Properties in Martensite Alloys [Текст] ∕ Y. Ishibashi, M. Iwata ∕∕ Journal of the Physical Society of Japan. - 2003. - Vol. 72. - N. 7.-P. 1675- 1681.

73 Fu H. Polarization rotation mechanism for ultrahigh electromechanical response in single-crystal piezoelectrics [Текст] ∕ H. Fu, R. E. Cohen ∕∕ Nature. - 2000. - Vol. 403. -P. 281-283.

74 Wu Zh. Pressure-Induced Anomalous Phase Transitions and Colossal Enhancement OfPiezoelectricity in PbTiO₃[Текст] ∕ Zh. Wu, R. E. Cohen ∕∕ Physical Review Letters. -2005. - Vol. 95. - P. 037601.

75 Cohen R. E. Ferroelectricity in PbTiO₃ and BaTiO₃ under Pressure [Текст] ∕ R. E. Cohen, Z. Wu ∕∕ Bulletin of the American Physical Society. - 2006. - Vol. 1. - P. 41009.

76 Cohen R. E. Materials science: Relaxors go critical [Текст] ∕∕ Nature. - 2006. - Vol. 441.-is. 7096.-P. 941-942.

77 Origin of morphotropic phase boundaries in ferroelectrics [Текст] ∕ M. Ahart, M. Somayazulu, R. E. Cohen, P. Ganesh, Prz. Dera, H.-K. Mao, R. J. Hemley, Y. Ren, P. Liermann, Zh. Wu. ∕∕ Nature. - 2008. - Vol. - 451. - P. 545 - 549.

78 Сегнетоэлектрики и антисегнетоэлектрики [Текст] / Г.А. Смоленский, В.А. Боков, В.А. Исупов, Н.Н. Крайник, Р.Е. Пасынков, М.С. UIyp // Ленинград: Наука. 1971.-476 с.

79 Foster N.F. The deposition and piezoelectric characteristics of sputtered lithium niobate films [Текст] ∕∕ Journal Applied Physics. - 1969. - Vol. 40. - P.420-423.

80 PollaD. L. Microelectromechanical systems based on ferroelectric thin films [Текст] ∕∕ Microelectronic Engineering. - 1995. - Vol. 29. - №. 1. - P. 51-58.

81 Whatmore R. W. Ferroelectrics, microsystems and nanotechnology [Текст] ∕∕ Ferroelectrics. - 1999. - Vol. 225. -№. 1. - P. 179-192.

82 Trolier-McKinstry S. Thin film piezoelectrics for MEMS [Текст] ∕ S. Trolier- McKinstry, P. Muralt ∕∕ Journal OfElectroceramics. - 2004. - Vol. 12. - P.7-17.

83 Self-polarization of PZT thin films - a comparison of various deposition technologies [Текст] ∕ G. Suchaneck, G. Gerlach, A. Deineka, L. Jastrabik, A. Schonecker, F. Schlenkrich, V.P. Afanasjev, A.V. Pankrashkin, I.P. Pronin, E.Yu. Kaptelov ∕∕ Proceedings of the International Conference on Infrared Sensors and Systems IRSS 2002. - Wunstorf: AMA Service GmbH. - 2002. - P.59-64.

84 Self-polarization in PZT films [Текст] ∕ K.W. Kwok, B. Wang, H.L.W. Chan, C.L. Choy ∕∕ Ferroelectrics. - 2002. - Vol.271. - P.69-74.

85 Polarization and self-polarization in PZT thin films [Текст] ∕ V.P. Afanasjev, A.A. Petrov, I.P. Pronin, E.A. Tarakanov, A.V. Pankrashkin, E.Yu. Kaptelov, J. Graul ∕∕ Journal OfPhysics: Condensed Matter. - 2001. - Vol. 13. - P.8755-8763.

86 Optimized PZT thin films for pyroelectric IR detector arrays [Текст] ∕ R. Bruchhaus, D. Pitzer, M. Schreiter, W. Wersing ∕∕ Journal OfElectroceramics. - 1999. Vol. - 3. - P.151-162.

87 Domain populations in lead zirconate titanate thin films of different Composotions via piezoresponse force microscopy [Текст] ∕ A. Wu, P.M. Vilarinho, V. V. Shvarzman, G. Suchaneck, A.L. Kholkin ∕∕ Nanotecnology. - 2005. - Vol. 16. - P.2587-2595.

88 Pyroelectric devices based on sputtered PZT thin films [Текст] ∕ R. Kohler, N. Neumann, N. Heβ, R. Bruchhaus, W. Wersing, M. Simon ∕∕ Ferroelectrics. - 1997. - Vol. 201.-P. 83-92.

89 Properties of sputter and sol-gel deposited PZT thin films for sensor and actuator applications: preparation, stress and space charge distribution, self poling [Текст] ∕ G. Gerlach, G. Suchaneck, R. Kohler, T. Sandner, P. Padmini, R. Krawietz, W. Pompe, J. Frey, O. Jost, A. Schonecker ∕∕ Ferroelectrics. - 1999. - Vol. 230. - №. 1. - P. 109-114.

90 Relationship between pyroelectric properties and electrode sizes in (Pb₅La)(Zr₅Ti)O₃ (PLZT) thin films [Текст] ∕ M. Kobune₅ H. Ishito₅ A. Mineshige₅ S. Fujii₅ R. Takayama₅ A. Tomozawa ∕∕ Japan Journal of Applied Physics. - 1998. - Vol. 37. - Part I № 9S. - P. 5154-5157.

91 Self-polarization effect in Pb(Zr,Ti)O3 thin films [Текст] ∕ A.L. Kholkin₅ K.G. Brooks, D.V. Taylor, S. Hiboux₅ N. Setter// Integrated Ferroelectrics. - 1998. - V.22. - P. 525-533.

92 Tagantsev A. K. Interface-induced phenomena in polarization response of ferroelectric thin films [Текст] ∕ A. K. Tagantsev₅ G. Gerra ∕∕ Journal of Applied Physics. - 2006. - Vol. 100. - №. 5. - P. 051607.

93 Метод определения заряда ловушек на интерфейсах тонкопленочной структуры металл/сегнетоэлектрик/металл [Текст] / Л. Делимова, И. Грехов, Д

Машовец, Ю.М. Коо, С.-П. Ким, Я. Парк // Физика твердого тела. - 2006. - Т.48, Вып. 6.-С.1111-1114.

94 Ferroelectric film self-polarization. [Текст] ∕ Е. Sviridov, I. Sem, V. Alyoshin, S. Biryukov, V. Dudkevich ∕∕ Materials Research Society Proceedings, Cambridge UniversityPress- 1995. - V.361. - P. 141-146.

95 Stresses in Pt∕Pb(Zr, Ti)O₃∕Pt thin films stacks for integrated ferroelectric capacitors [Текст] ∕ G.A.C.M. Spierings, G.J.M. Dormans, W.G.J. Moors, M.J.E. Ulenaers, P.K. Larsen ∕∕ Journal of Applied Physics. - 1995. - Vol. 78. - № 3. - P. 1926-1933.

96 Особенности пироэлектрических свойств тонких пленок цирконата-титаната свинца, содержащих избыток оксида свинца [Текст] / А.А. Богомолов, О.Н. Сергеева, Д.А. Киселев, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин // Письма в ЖТФ. - 2005. - Т.31.-Вып.И.-С.42-50.

97 Ogawa Т. Controlling the crystal orientations of lead titanate thin films [Текст] ∕ T. Ogawa, A. Senda, T. Kasanami ∕∕ Japan Journal Applied Physics. - 1991. - Vol.30. - part I. - №.9B. - P.2145-2148.

98 Афанасьев B.Π. Механизмы возникновения и релаксации самопроизвольной поляризации в тонких сегнетоэлектрических пленках [Текст] / В.П. Афанасьев, И.П. Пронин, А.Л. Холкин // Физика твердого тела. - 2006. - Т.48. - №6. - С. 1143- 1146.

99 Влияние отжига на самополяризованное состояние в тонких сегнетоэлектрических пленках [Текст] / И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, Е.А. Тараканов, .П. Афанасьев // Физика твердого тела. - 2002. - Т.44. - №9. - С. 1659- 1664.

100 Коган Ш.М. Пьезоэлектрический эффект при неоднородной деформации и акустическое рассеяние носителей тока в кристаллах [Текст] // Физика твердого тела. - 1963. - Т. 5. - С. 2829-2831

101 Бурсиан Э.В. Поляризация сегнетоэлектрической пластины изгибом [Текст] / Э.В. Бурсиан, О.И. Зайковский, К.В. Макаров // Известия АН СССР, серия физическая. - 1969. - Т.ЗЗ. - №7. - С. 1098-1100.

102 Бурсиан Э. В. Нелокальный пьезоэффект [Текст] / Э. В. Бурсиан, H. Н. Трунов // Физика твердого тела. - 1974. - Т. 16. - Вып. № 4. - С. 1187.

103 Желудев И. С. Симметрия и пьезоэлектрический свойства кристаллов [Текст] ∕∕ Czechoslovak Journal OfPhysics В. - 1966. - Т. 16. - №. 5. - С. 368-381.

104 Желудев И. С. Еще раз к вопросу об электрической поляризации кристаллов при деформации кручения [Текст] / И.С. Желудев, Ю.С. Лихачева, Лилеева // Кристаллография. - 1969. - Т. 14. - С. 514-516.

105 The Aexoelectricity ofbarium and strontium titanates from first principles [Текст] ∕ J. Hong, G. Catalan, J. F. Scott, E. Artacho ∕∕ Journal of Physics: Condensed Matter. - 2010.-T. 22.-№. 11.-P. 112201.

106 Ma W. Flexoelectricity ofbarium titanate [Текст] ∕ W. Ma, L. E. Cross //Applied Physics Letters. - 2006. - T. 88. - №. 23. - P. 2902.

107 Бурсиан Э. В. Изменение кривизны пленки сегнетоэлектрика при поляризации [Текст] / Э. В. Бурсиан, О. И. Зайковский // Физика твердого тела. - 1968. - Т. 10. - № 5. - С. 1413-1417.

108 A Aexoelectric microelectromechanical system on silicon [Текст] ∕ U. K. Bhaskar, N. Banerjee, A.Abdollahi, Zh. Wang, D. G. Schlom, G. Rijnders, G. Catalan ∕∕ Nature nanotechnology. - 2015.

109 Yudin P. V. Fundamentals of Aexoelectricity in solids [Текст] ∕ P. V. Yudin, A. K. Tagantsev ∕∕ Nanotechnology. - 2013. - T. 24. - №. 43. - P. 432001.

110 Zubko P. Flexoelectric effect in solids [Текст] ∕ P. Zubko G. Catalan, A. K. Tagantsev ∕∕ Annual Review OfMaterials Research. - 2013. - T. 43. - P. 387-421.

111 Юрков A. С. Расчет флексоэлектрических деформаций конечных тел [Текст] // Физика твердого тела. - 2015. Т. 57. - Вып. 3. - С. 450-455.

112 Yurkov A. S. On the Aexoelectric deformations of Anite size bodies [Текст] ∕∕ Letters to Journal OfExperimental and Theoretical Physics. - 2014. - Vol. 99. - №. 4. - P. 214-218.

113 Yurkov A. S. Flexoelectric deformation of a homogeneously polarized ball [Электронный ресурс] ∕∕ 2013. - режим доступа: https://arxiv.org/pdf/1304.1868.pdf.

114 Ferroelectric thin film ultrasonic micromotors [Текст] ∕ K.R. Udayakumar, S.F. Bart, A.M. Flynn, J. Chen, L.S. Tavrow, L.E. Cross, R.A. Brooks, D.J. Ehrlich ∕∕ Micro Electro Mechanical Systems, 1991, MEMS'91, Proceedings. An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots. IEEE. - IEEE, 1991. - P. 109- 113.

115 Thickness-dependent electrical characteristics of lead zirconate titanate thin films [Текст] ∕ K. R. Udayakumar, P. J. Schuele, J. Chen, S. B. Krupanidhi, L. E. Cross ∕∕ Journal of Applied Physics. 1995. - Vol. 77. - N. 8. - P. 3981 - 3986.

116 Relaxor behavior of pulsed laser deposited ferroelectric (Pbi-χLaχ)(Zro.65Tio.35)O3 films [Текст] ∕ M. Tyunina, J.Levoska, A. Sternderb, S. Leppavuori //Journal of AppliedPhysics. - 1998. - Vol. 84. - N. 12. - P. 6800-6810.

117 Thermal Behavior and Phase Transition in PZT near the MPB [Текст] ∕ T. Yamazaki, A. Onodera, H. Fujishita, Y. Shikawa, M. Tanaka ∕∕ Ferroelectrics. - 2002. - Vol. 266.-is. 1.-P. 139-151.

118 Internal Friction and Dielectric Measurements in Lead Zirconate Titanate Ferroelectric Ceramics [Текст] ∕ E. M. Bourim, H. Tanaka, M. Gabbay, G. Fantozzi ∕∕ Japanese Journal of Applied Physics. - 2000. - Vol. 39. - N. 9B. - P. 5542 - 5547.

119 Sheen D. Dielectric And Polarization Switching Anomalies Near The Morphotropic Phase Boundary In Pb(Zr1.χTiχ)O3 Ferroelectric Thin Films [Текст] ∕ D. Sheen, J.-J. Kim ∕∕ Physical Review B. - 2003. - Vol. 67. - P. 144102.

120 Ishibashi Y. Note on Ferroelectric Domain Switching [Текст] ∕ Y. Ishibashi, Y. Takagi ∕∕ Journal of the Physical Society of Japan. 1971. - Vol. 31. - N. 2. - P. 506- 510.

121 Experimental Study OfTexture and Self-Polarization of Sol-Gel Derived PZT Thin Films [Текст] ∕ J. Frey,.F. Schlenrich, A. Schonecker, P. Obenaus, J. Thomas, R. Kohler ∕∕ Berlin : Springer Science & Business Media, NATO Science Series. - 2000. - Vol.77. P. 273-278.

122 Tai C. W. Microtexture characterization of PZT ceramics and thin films by electron microscopy [Текст] ∕ C. W. Tai, K.Z. Baba-kishi, K.H. Wong ∕∕ Micron. - 2002. - Vol. 33.-is. 6. - P. 581 -586.

123 Tai C. W. Microtexture studies of PST and PZT ceramics and PZT thin film by electron backscatter diffraction patterns [Текст] ∕ C.W. Tai, K.Z. Baba-kishi ∕∕ Textures and Microstructures. - 2002. - Vol. 35. - P. 71 - 86.

124 Electron backscatter diffraction mapping of herringbone domain structures in tetragonal piezoelectrics [Текст] ∕ M. U. Farooq, R. Villaurrutia, I. MacLaren, T. L. Bumett, T. P. Cornyn, A. J. Bell, H. Kungl, M. J. Hoffmann ∕∕ Journal of Applied Physics. - 2008. - Vol. 104. - P. 024111.

125 Study of global and local crystallography at the domain boundaries of Lead Zirconate Titanate piezoelectric ceramics [Текст] ∕ M. U. Farooq, R. Villaurmtia, I. MacLaren, H. Kungl, M. J. Hoffmann, J.-J. Fundenberger, E. Bouzy ∕∕ Journal of Physics: Conference Series. Electron Microscopy and Analysis Group Conference 2007 (EMAG 2007). - 2008. - Vol. 126. - P. 012012.

126 Using EBSD and TEM-Kikuchi patterns to study local crystallography at the domain boundaries of lead zirconate titanate [Текст] ∕ M. U. Farooq, R-Villaurrutia, LMaclaren, H. Kungl, M. J. Hoffmann, J.-J. Fundenberger, E. Bouzy ∕∕ Journal of Microscopy. - 2008. - Vol. 230. - P. 445-454.

127 Electron backscatter diffraction and piezoresponse force microscopy study of bulk and thin film PZT samples [Текст] ∕ M. J. Lowe, T. Hegarty, K. Mingard, J. Li, M. G. Cain ∕∕ Integrated Ferroelectrics. - 2008. - Vol. 98. - P. 136-143.

128 Crystallographic mapping of ferroelectric thin films using piezoresponse force microscopy and electron backscatter diffraction [Текст] ∕ M. Lowe, Tr. Hegarty, K. Mingard, J. Li, M. Cain ∕∕ Electron Microscopy and Analysis Group Conference 2007 (EMAG 2007) Journal of Physics: Conference Series. 2008. - Vol. 126. - P. 012011.

129 A possible route to the quantification of piezoresponse force microscopy through correlation with electron backscatter diffraction [Текст] ∕ T. L. Burnett, P. M. Weaver, J. F. Blackbum, M. Stewart, M. G. Cain ∕∕ Materials Challenges and Testing for Supply

of Energy and Resources ∕ Th. Bollinghaus, T. Kishi, J. Lexow, M. Kitagawa. - Springer-VerlagBerlinHeidelberg. 2012. - P. 95 - 105.

130 Annealing effect of platinum-based electrodes on physical properties of PZT thin films [Текст] ∕ Y.S. Jeonga, H.-U. Lee, S-А. Lee, J-P. Kim, H-G. Kim, S.-Y. Jeong, Ch.-R. Cho ∕∕ Current Applied Physics. - 2009. - Vol. 9. - P. 115-119.

131 Nanometer scale crystallographic texture mapping of platinum and PZT by EBSD [Текст] ∕ G. R. Fox, X. Han, T. M. Maitland, M. D. Vaudin ∕∕ Journal Materials Science. - 2010. - 45. - P. 2991 - 2994.

132 Thickness-dependent phase evolution of polycrystalline Pb(Zr_{0 35}Ti_{0 6}S)O₃ thin films [Текст] ∕ M. B. Kelman, L. F. Schloss, P. C. McIntyre, B. C. Hendrix, St.M. Bilodeau, J. F. Roeder ∕∕ Applied Physics Letters. - 2002. -Vol. 80. - N.7. - P. 1258 - 1260.

133 Origin and implications of the observed rhombohedral phase in nominally tetragonal Pb(Zr_{0 35}Ti₀₆₅)O₃ thin films [Текст] ∕ M. B. Kelman, P. C. McIntyre, A. Gruverman, B. C. Hendrix, St.M. Bilodeau, J.F. Roeder ∕∕ Journal Of Applied Physics. - 2005. - Vol. 94, N. 8. - P. 5210 - 5219.

134 Ferroelectric and piezoelectric properties of highly oriented Pb(Zr₅Ti)O₃ film grown on Pt∕Ti∕SiO₂∕Si substrate using conductive lanthanum nickel nitrate buffer layer [Текст] ∕ J-J. Choi, G-T. Park, Ch-S. Park, H-E. Kim ∕∕ Journal OfMaterials Research. - 2005. Vol. 20, N. 3. - P. 725-733.

135 Берлин E.B. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок [Текст] / Е.В. Берлин, С.А. Двинин, Л.А. Сейдман ∕ M.: Техносфера. -2007. 176 с.

136 Sawyer С.В. Rochelle salt as a dielectric [Текст] / С.В. Sawyer, С.Н. Tower // Physical Review. - 1930. - V.35. - P. - 269 - 275.

137 Богомолов А.А. Практикум по физике сегнетоэлектриков [Текст] / А.А. Богомолов, В.В. Иванов : учеб, пособие. - Тверь: Твер. гос. ун-т, 2005. - 56 с.

138 Описание измерителя иммитанса МНИЛИ Е7-20 [Электронный ресурс]. -

Режим доступа: http://mnipi.com/ru/produkt/izmeriteli-immitansa-rlc/izmeritel-

immitansa-e7-20.html, свободный.

139 Описание рентгеновского дифрактометра особого назначения ДРОН-7 [Электронный ресурс] http://bourevestnik.ru/products/rentgenodifraktsionnyy- analiz∕dron-7-m∕доступ 02.12.2014

140 Быков Ю.А. Электронная микроскопия и рентгеноспектральный микроанализ (аппаратура, принципы работы, применение) [Текст] / Быков Ю. А., Карпухин С. Д. : учеб, пособие по курсу «Современные методы исследования структуры материалов» / Быков Ю. А., Карпухин С. Д. ; ред. Быков Ю. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2002. - 30 с.

141 Аномальные потери свинца в тонких пленках PZT в процессе кристаллизации фазы перовскита [Текст] / В.П. Пронин, С.В. Сенкевич, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин // Физика твердого тела. - 2013. - Т.55. - Вып.1 - С.92-94.

142 Вольпяс В.А. Термализация атомных частиц в газах [Текст] / В.А. Вольпяс, А.Б. Козырев // Журнал экспериментальной и теоретической физики. - 2011. - Т. 139.-вып. 6.-С. 1-9.

143 Frantti J. Neutron Diffraction Studies of Pb(Zr_xTi_bx)O₃ Ceramics [Текст] ∕ J. Frantti, J. Lappalainen, S. Eriksson, V. Lantto, S. Nishio, M. Kakihana, S. Ivanov, H. Rundlof ∕∕ Japan Journal of Applied Physics. - 2000. - Vol. 39. Part 1. - №. 9B. P. 5697-5703.

144 TetragonaLto-Inonoclinic phase transition in a ferroelectric perovskite: The structure of PbZr_{0 52}Ti₀₄₈O₃[Текст] ∕ B. Noheda, J. A. Gonzalo, L. E. Cross, R. Guo, S.-Е. Park, D. E. Cox, G. Shirane ∕∕ Physical. Review B. - 2000. - Vol.61. - P.8687- 8695.

145 Joseph J. Structural investigations on Pb(Zr_xTiι-_x)O₃ solid solutions using the X-ray Rietveld method [Текст] ∕ J. Joseph, T. M. Vimala, V. Sivasubramanian, V. R. K. Murthy ∕∕ Journal OfMaterials Science. - 2000. - Vol. 35. - P. 1571 - 1575.

146 Каменщиков M. В. Проводимость и вольт-амперные характеристики тонкопленочных гетероструктур на основе ЦТС [Текст] / М. В. Каменщиков, А. В.

Солнышкин, А. А. Богомолов, И. П. Пронин //Физика твердого тела. - 2011. - Т. 53.-№. 10.-С. 1975-1979.

147 Окадзаки К. Технология керамических диэлектриков [Текст] .-M.: Энергия. - 1976.-336 с.

148 Самополяризация и миграционная поляризация в тонких пленках цирконата- титаната свинца [Текст] / И.П. Пронин, Е.А. Тараканов, Е.Ю. Каптелов, Т.А. Шаплыгина, В.П. Афанасьев, А.В. Панкрашкин // Физика твердого тела. - 2002. Т.44. - Вып. 4. - С.739-744.

149 Исследование состава и свойств тонких пленок PZT, полученных методом магнетронного распыления с помощью растровой электронной микроскопии [Текст] / С.В. Сенкевич, А.Г. Канарейкин, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин // Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена. -2013. -№ 157. - С. 101-106.

150 Тентилова И.Ю. Релаксация упругой энергии при превращении пленок цирконата-титаната свинца из фазы пирохлора в сегнетоэлектрическую фазу перовскита [Текст] : автореф. дисс. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07/И.Ю. Тентилова. - СПб., 2013. - 21с.

151 Bottom electrodes for integrated Pb(Zr₅Ti)O₃ films [Текст] ∕ P.D. Hren, S.H. Rou, H.N. Al-Shareef, M. S. Ameen,, O. Auciello, A. I. Kingon ∕∕ Integrated Ferroelectrics.

- 1992.-Vol. 2.-P. 311-325.

152 Influence of platinum-based electrodes on the micro structure of sol - gel and MOD prepared lead zirconate titanate films [Текст] ∕ G.A.C. Spierings, J.B.A. Van Zon, P.K. Larsen, M. Klee ∕∕ Integrated Ferroelectrics. - 1993. - Vol. 3. - P. 283-292.

153 Внутреннее поле и самополяризация в тонких пленках цирконата-титаната свинца [Текст] / В. В. Осипов, Д. А. Киселев, Е. Ю. Каптелов, С. В. Сенкевич, И. П. Пронин // Физика твердого тела. - 2015. - Т. 57. - №. 9. - С. 1748-1754.

154 Вклад механических напряжений в самополяризацию тонких сегнетоэлектрических пленок [Текст] / И. П. Пронин, Е. Ю. Каптелов, А. В.

Гольцев, В. П. Афанасьев // Физика твердого тела. - 2003. - Т. 45, № 9. - С. 1685 - 1690.

155 Watanabe H., Yamada N., Okaji М. Linear thermal expansion coefficient of silicon from 293 to 1000 К [Текст] ∕ H. Watanabe, N. Yamada, M. Okaji ∕∕ International journal of thermophysics. - 2004. - Vol. 25. - №. 1. - P. 221-236.

156 Кукушкин C. A., Тентилова И. Ю., Пронин И. П. Механизм фазового превращения пирохлорной фазы в перовскитовую в пленках цирконата-титаната свинца на кремниевых подложках [Текст] / С. А. Кукушкин, И. Ю. Тентилова, И. П. Пронин // Физика твердого тела. - 2012. - Т. 54. - №. 3. - С. 571-575.