Заключение

C использованием двухстадийной методики, при которой 1) методом ВЧ магнетронного распыления происходило осаждение тонких аморфных слоев при низкой температуре и 2) последующий высокотемпературный отжиг осажденных слоев на воздухе (или в свинцовой атмосфере) для формирования фазы перовскита, были изготовлены образцы тонких пленок цирконата-титаната свинца (ЦТС).

1. Путем изменения давления рабочего газа в установке ВЧ магнетронного распыления в процессе осаждения пленок ЦТС на подложку Pt/SiC^/Si можно варьировать их состав в малых пределах ≈ 2 %.

2. Отжиг тонких пленок ЦТС на воздухе вместо свинецсодержащей атмосферы приводит к повышению температуры кристаллизации фазы перовскита приблизительно на 50 °С.

3. В пленках ЦТС составов, соответствующих МФГ, идентифицировано сосуществование двух кристаллических модификаций перовскитовой структуры: моноклинной и тетрагональной, соотношение между которыми уменьшается с ростом температуры отжига, а также при нагреве образцов в диапазоне 20-200 °С.

4. Максимальное содержание моноклинной фазы, также как и максимальные значения самополяризации и остаточной поляризации наблюдались в отдельных перовскитовых островках пленок ЦТС (при неполной кристаллизации фазы перовскита во всем объеме пленки).

5. Реориентация вектора поляризации в пленке ЦТС происходит при нагреве тонкопленочной конденсаторной РГЦТС/Р! структуры выше температуры Кюри и зависит от температуры термообработки, при которой происходило формирование фазы перовскита.