Введение

Актуальность темы Кристаллы германия и парателлурита являются широко востребованными в промышленности, в науке (фундаментальные и прикладные разработки) и технике.

Кристаллический германий (моно- и поликристаллы) применяется в качестве оптического материала для линз и входных окон тепловизионных систем инфракрасной (ИК) техники, работающие в диапазоне длин волн 2,5- 14,0 мкм.

На качество инфракрасных оптических систем на основе германия, используемых для формирования и передачи изображений, существенное влияние оказывают такие свойства кристаллов, как ослабление и рассеяние излучения, а также оптическая однородность (которая оценивается по величине изменения показателя преломления по объему оптического элемента). Рассеяние излучения и повышенная неоднородность показателя преломления приводят к размытию изображения и снижению качества изображения, формируемого изготовленными на основе кристаллов объективами ИК систем.

В последние годы интерес к германию активировался в связи с развитием глобальных спутниковых сетей, в частности для бортового питания спутников радиационностойкие фотоэлектрические преобразователи (ФЭП) с высоким к.п.д.; наиболее эффективные ФЭП с к.п.д. до 40% изготавливают на германиевых подложках диаметром 100 мм. Необходимые параметры кристаллов - низкая плотность дислокаций (менее 250 см'²), отсутствие дислокационных дефектов типа. Актуальными являются вопросы получения кристаллов германия таких размеров с высоким структурным совершенством.

Наиболее востребованным для создания приборов и устройств акустооптики является парателлурит. Монокристаллы парателлурита - тетрагональной модификации диоксида теллура (α-TeO₂) - обладают рядом уникальных для диэлектриков свойств. Кристаллы имеют широкий

диапазоном прозрачности (0,35-6,0 мкм) без заметных полос поглощения, практически нерастворимы в воде, имеют невысокую твердость, легко обрабатываются.

Особенности технологического и климатического использования приборов на основе германия и парателлурита, а также работа в качестве активных элементов акустооптических устройств и использование в виде изделий проходной оптики, могут предполагать нагрев оптических элементов с возникновением в них температурных градиентов. C учетом теплофизических характеристик материалов возможно как подбирать кристаллы, оптимальные для конкретного использования, так и конструировать систему теплоохлаждающих элементов в приборах и устройствах.

Повышение требований к оптическим системам определяет и соответствующий уровень требований к качеству германия и парателлурита, что делает исследование свойств, а также контроль характеристик кристаллов актуальной задачей. Несмотря на относительно высокую проработку оптических характеристик кристаллов германия и парателлурита, информация о диэлектрических и тепловых свойствах монокристаллов парателлурита крайне ограничена, а тепловые свойства германия недостаточно отражены в научно-технических источниках. Актуальной является оценка применимости методов исследования и методов контроля 5

характеристик, в частности, оптической однородности. Особенно это важно для кристаллов больших диаметров, так как теоретическое прогнозирование их свойств, как правило, проблематично.

Высокие характеристики обоих видов кристаллов актуальны для таких областей, как оптика, лазерная техника, оптоэлектроника, акустооптика и фотоэлектроника, в которых в качестве материала активных или пассивных элементов устройств должны использоваться германий и парателлурит.

Цель настоящей работы: выявление закономерностей влияния кристаллографической ориентации и примесного состава на оптические, диэлектрические и теплофизические характеристики кристаллов германия и парателлурита.

Выбор объектов исследования обусловлен технической значимостью кристаллов и возможностью совершенствования их параметров на основе имеющихся технологий выращивания.

Для достижения цели были поставлены следующие задачи:

1. Исследовать диэлектрические и тепловые характеристики монокристаллов парателлурита с учетом кристаллографической ориентации пластин, вырезанных из монокристаллов.

2. Выполнить комплексное исследование оптических свойств крупногабаритных монокристаллов (диаметром 150-200 мм) германия, выращенных разными способами, имеющих различную концентрацию дислокационных и иных дефектов и отличающихся примесным составом.

3. Провести оценку влияния примесного состава в кристаллах германия на особенности оптического спектра в инфракрасном диапазоне длин волн и определить особенности оптического пропускания германия в терагерцовом спектральном диапазоне.

4. Исследовать теплофизические характеристики монокристаллов и поликристаллов германия с учетом примесного состава и кристаллографической ориентации (для монокристаллов).

Научная новизна

- обнаружено наличие сразу 2-х «кислородных» пиков поглощения в монокристаллах германия, максимумы которых соответствуют частотам 841 см'¹ и 855 см'¹, обусловленных ростом концентрации кислорода от IO¹⁵ до IO¹⁷см'³;

- выявлены закономерности влияния примеси и ее концентрации на оптическое пропускание в монокристаллическом германии в инфракрасном и терагерцовом спектральном диапазоне;

- впервые исследована зависимость коэффициента теплопроводности для монокристаллов парателлурита и германия от кристаллографического направления и для кристаллов германия //-типа от концентрации примеси;

- впервые проведен анализ дисперсии диэлектрической проницаемости кристаллов парателлурита в широком диапазоне частот 100 Гц - 1МГц.

Практическая значимость выполненной работы определяется потребностями промышленных и опытных производств, а также научно- технических применений в использовании совершенных кристаллов германия и парателлурита в различных отраслях науки, техники и медицины.

Комплексные методы определения оптических параметров кристаллов германия для ИК оптики быть применены для контроля качества выращенных кристаллов для оптических элементов систем тепловидения. Знание тепловых характеристик может быть использовано для анализа использования оптики на основе германия, работающей в условиях повышенных температур.

Численные значения коэффициентов теплопроводности парателлурита могут использоваться при расчете оптимальных формы и размеров конструкционных элементов, окружающих акустооптические элементы (светозвукопроводы различных применений) на основе монокристаллов парателлурита.

Методология и методы исследования В работе использовалась методология комплементарного применения различных методов и средств, включающих: комплексные оптические измерения (спектральное и направленное пропускание, рассеяние, определение неоднородности показателя преломления) в инфракрасном и терагерцовом спектральном диапазоне для кристаллов германия; исследования тепловых характеристик германия и парателлурита TWS методом и импульсным методом; исследования дисперсии диэлектрических характеристик парателлурита методом диэлектрической спектроскопии. Для контроля параметров кристаллов использовали оптическую просвечивающую и отражательную микроскопию, растровую электронную микроскопию, рентгеноструктурный анализ, методы определения электрофизических характеристик германия.

Научные положения и результаты, выносимые на защиту

1. Содержание оптически активного кислорода в монокристаллах германия определяет положение максимума соответствующей полосы решеточного поглощения и величину коэффициента ослабления в полосе.

2. Оптическое пропускание германия в терагерцовом спектральном диапазоне (длина волны 130 мкм) существенно ниже, чем в инфракрасном диапазоне, что определяется относительно высокой концентрацией носителей заряда в собственном германии.

3. Структура монокристаллов германия для оптического применения и их электрофизические характеристики не связаны в явном виде с основными оптическими характеристиками германия: со спектральным и направленным пропусканием, а также с неоднородностью показателя преломления.

4. В монокристаллах парателлурита поведение дисперсии диэлектрической проницаемости и коэффициента теплопроводности зависит от кристаллографического направления.

Достоверность результатов диссертации обеспечивается проверкой

теоретических положений обеспечивается корректной применением современных

экспериментальными исследованиями; постановкой исследовательских задач; методов исследования и обработки

экспериментальных результатов; апробацией на международных и всероссийских конференциях; публикациями основных результатов работы в рецензируемых центральных изданиях; использованием результатов работы на практике.

Основное содержание работы опубликовано в 13 печатных работах, включая 9 статей в изданиях, рекомендованных ВАК.

Апробация работы Основные результаты диссертационной работы были представлены на 21-ой Всероссийской межвузовской научно- технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2014» (г. Москва 23-25 апреля 2014), XI Международной конференции «Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов» (г. Курск, 13-14 мая 2014 r.), VI Международном конгрессе «Цветные металлы и минералы - 2014» (г. Красноярск, 15-18 сентября 2014), Шестой международной конференции «Кристаллофизика и деформационное поведение перспективных материалов» (г. Москва, 26-28 мая 2015 τ.), XXI Международной научной конференции студентов и молодых учёных «Современные техника и технологии» (СТТ-2015) (г. Томск, 5-9 октября 2015 г.).

Работа по теме диссертации проводилась в соответствии с тематическими планами НИР, в рамках реализации ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014 - 2020 годы» (Соглашение 14.577.21.0004 (RFMEFI57714X0004), в плане исследования оптических и тепловых свойств кристаллов германия и Соглашение 14.574.21.0113 (RFMEFI57414X0113), в плане исследования диэлектрических и тепловых характеристик

монокристаллов парателлурита), проектной части государственного задания

№11.1937-2014/К.

Личный вклад автора Диссертантом совместно с научным руководителем проводились выбор темы, планирование работы, постановка задач и обсуждение полученных результатов. Автором самостоятельно выполнены эксперименты по исследования диэлектрических свойств монокристаллов парателлурита, тепловых характеристик монокристаллов парателлурита и германия, исследованию спектральных характеристик в ИК диапазоне монокристаллов германия. Автором проведены расчеты, обработаны полученные результаты. Измерения коэффициентов теплопроводности производилось по методике, разработанной Малышкиной О.В. и Калугиной О.Н.

Структура и объём диссертационной работы Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы. Работа содержит 169 страниц основного текста, 51 рисунок, 15 таблиц, список литературы включает 251 наименования.