Заключение

В результате проведенных экспериментальных исследований было установлено следующее:

1. Путем изменения давления рабочего газа в установке ВЧ магнетронного распыления в процессе осаждения пленок ЦТС на подложку Pt∕SiO₂∕Si можно варьировать их состав, соответствующий морфотропной фазовой границе, в мал*ых пределах ≈ 2 %.

2. Использование воздушной среды вместо свинецсодержащей атмосферы

при отжиге тонких пленок цирконата титаната свинца приводит к повышению температуры кристаллизации фазы перовскита приблизительно на 50 °С.

3. В пленках ЦТС составов, соответствующих МФГ, идентифицировано сосуществование двух кристаллических модификаций перовскитовой структуры: моноклинной и тетрагональной, соотношение между которыми уменьшается с ростом температуры отжига, а также при нагреве образцов в диапазоне 20-200 °С.

4. Устойчивость моноклинной фазы, максимальные значения самополяризации и остаточной поляризации тонких пленок ЦТС наблюдались в отдельных перовскитовых островках (при неполной кристаллизации фазы перовскита во всем объеме тонкой пленки).

5. Реориентация вектора поляризации в тонкопленочной конденсаторной PtΛl,TC∕Pt структуре происходит при нагреве образца выше температуры Кюри и зависит от температуры, при которой происходит формирование ЦТС пленки.