3.8. Особенности механизма формирования вибрационного химико­механического оксидного покрытия (ВиХМОП)

В основу изучения механизма формирования вибрационного химико­механического оксидного покрытия положена методика определения механической и химической составляющей процесса. Механическая составляющая включает режимы виброволнового воздействия, характер расположения следов, их размеры на микро/наноуровне поверхности естественной оксидной пленки.

Рис. 3.25. Изображение оксидной пленки

В условиях нанесения покрытия частицы рабочей среды наносят удары по обрабатываемой поверхности. В зоне контакта возникают напряжения, обеспечивающие упругопластическую деформацию, что приводит к увеличению дислокаций и образованию активных центров. Увеличение внутренней энергии поверхностных слоев металла в результате воздействия рабочей среды приводит к повышению адсорбционной активности металлической поверхности.

В результате скольжения шаров относительно поверхности деталей, взаимного колебания атомных групп, составляющих молекулы, повышенной энергии движения рабочей среды происходит активация молекул оксидирующего раствора за счет получения ими дополнительной энергии (энергии активации). Об активации молекул свидетельствует увеличение толщины оксидной пленки, полученной при ВиХМО 4,5-5 мкм (без ВиХМО 3-3,5 мкм). ВиХМО сообщает ионам дополнительную энергию, необходимую для преодоления увеличивающегося расстояния между металлом и растущей оксидной пленкой.

Таким образом, последовательное нанесение большого числа микроударов рабочей среды при их взаимном соударении и скольжении приводит к повышению химической активности не только металлической поверхности, но и молекул оксидирующего раствора.

3.8.