3.11. Влияние виброволнового воздействия и химической составляющей процесса на формирование покрыти
Концентрация компонентов оксидирующего раствора напрямую зависит от интенсивности виброволнового воздействия. Учитывая, что растворы, их концентрация, технология нанесения в стационарной ванне достаточно хорошо изучены, необходимо определить оптимальную концентрацию реагирующих веществ в новых условиях, так как состав раствора влияет на свойства покрытия.
Роль активатора в оксидирующем растворе выполняет кремнефторид натрия, роль пассиватора - хромовый ангидрид. Под влиянием вибрационного воздействия активация ионов и молекул увеличивается. Максимальная толщина оксидной пленки может быть получена только при оптимальном содержании компонентов.
Оптимальное содержание кремнефторида натрия и хромового ангидрида в растворе определялось гравиметрическим методом. Результаты эксперимента представлены на рис. 3.31, 3.32 и в табл. 3.1.
Рис. 3.31. Влияние концентрации кремнефторида натрия на толщину оксидной пленки: 1 - вибрационное механохимическое оксидное покрытие; 2 - в стационарной ванне; материал образцов АМц; Т=20 мин
Рис. 3.32. Влияние концентрации хромового ангидрида на толщину оксидной пленки: 1 - вибрационное химикомеханическое оксидное покрытие; 2 - в стационарной ванне; материал образцов АМц; Т=20 мин
Таблица 3.1
Оптимальный состав раствора для нанесения ВиХМОП
| Материал образца | Способ обработки | Концентрация, г/л | Толщина покрытия, мкм | Цвет плёнки | |
| Na2SiF6 | СгОз | ||||
| АМц | ВиХМОП | 2,5 3,5 | 2,5 3,5 | 4,6 | золотисто жёлтая |
| Стационарная ванна | 3,0- 4,0 | 3,0 - 4,0 | 3,4 | ||
Хромовый ангидрид не оказывает непосредственного влияния на растворение покрытия, но недостаточная перепассивация может служить причиной ускоренного растворения пленки. Кроме того, небольшое увеличение концентрации хромового ангидрида благоприятно сказывается на интенсивности окраски пленки.
Анализ проведенных исследований показал, что для формирования ВиХМОП максимальной толщины необходимо уменьшить содержание кремнефторида натрия - компонента, растворяющего пленку до 2,5 3,5 г/л.
3.10.