Погрешность

Измерения оптического пропускания

Точность измерения спектрального пропускания определяется приборной и методической составляющими.

Точность измерения ИК-Фурье спектрометра TENSOR Tlв спектральном диапазоне 340-8000 см"¹ составляет: минимальное

спектральное разрешение 0,9 см"¹; диапазон измерения коэффициентов пропускания: 0,01-100 %; точность по волновому числу на длине волны 2000 см"¹ - 0,01 см"¹; фотометрическая точность 0,1%.

более высокие характеристики - минимальное спектральное разрешение 0,5 см"¹ в спектральном диапазоне 370-7500 см"¹.

Абсолютная погрешность Aa может быть найдена с помощью известного из теории ошибок соотношения:

где Af - абсолютная погрешность функции; a₁- i-ый аргумент функции; Aa₁- абсолютная погрешность этого аргумента. Применительно к формуле (2.10) получается следующий результат:

где AR и AT - абсолютные погрешности при определении коэффициентов отражения и пропускания соответственно.

Измерения рассеяния

Суммарная относительная погрешность измерений доли рассеянного излучения коэффициента рассеяния Аа_РАс состоит из относительных погрешностей измерения освещенностей изображений черного предмета и фона. Согласно методике относительная погрешность измерения освещенности в изображении черного предмета включала: систематические относительные погрешности измерения коэффициента рассеяния вспомогательного объектива (10%), определения остаточной относительной яркости черного предмета (10%), обусловленную нелинейностью фотоприемного устройства (2%), случайную относительную погрешность измерения фототока (1%).

Относительная погрешность измерения освещенности в изображении фона включала в себя случайную относительную погрешность измерения фототока (1%).

В соответствии с методами расчета погрешности при измерениях с однократным наблюдением при доверительной вероятности 0,95 суммарная относительная погрешность измерений коэффициента рассеяния ΔS составляла 9%. Измерения неоднородности показателя преломления

Систематические ошибки интерферометрической схемы и поверхностей заготовок в данной методике исключаются вычитанием ошибок, связанных с формой поверхностей заготовки и формой волнового фронта интерферометрической схемы.

Погрешность измерения толщины заготовки и погрешность отклонения среднего по заготовке показателя преломления от номинального не учитываются в связи с незначительным влиянием на результат определения оптической однородности.

Случайная погрешность зависит от погрешностей измерения координат экстремумов интерференционных полос и восстановления волнового фронта и подчиняется нормальному закону распределения.

Погрешность восстановления волнового фронта по дискретным отсчетам получена опытным путем. Для этого многократно регистрировались и расшифровывались интерферограммы от плоских поверхностей (число измерений - N), находилась усредненная топограмма ошибки поверхности и среднеквадратическое отклонение ошибки от среднего значения

Расчеты производились по программе "WinFringe"в режиме «Операции с волновыми фронтами».

Для интерферометра ИКИ-3,5 среднеквадратичная случайная погрешность интерферометра ε -0.015 λ_κ ( λ_κ- длина волны при контроле).

Среднеквадратическая погрешность определения однородности показателя преломления для метода переворачивания составляет

δ-0.5ε[2- 10(n_o-l)²]^ιz2и в наших измерениях составляла 0,49χ IO'⁵.

75