Термодинамический подход к проблеме размерной зависимости температуры плавления тонких пленок
В работах сотрудников научной школы профессора В.М. Самсонова [64, 108-110, 199, 309] и в ряде работ других авторов [105, 115, 192, 310] с использованием термодинамических методов исследовалась размерная зависимость температуры плавления наночастиц.
Данный раздел посвящен рассмотрению более сложной проблемы, отвечающей рассмотрению размерного эффекта температуры плавления тонких пленок на твердых поверхностях. Практическая значимость исследований в этой области обусловливается необходимостью прогнозирования поведения металлических покрытий, а также адекватного определения рабочего температурного интервала функционирования активных и пассивных элементов микро- и наноэлектроники. Будем исходить из того, что при температуре T, близкой к температуре плавления Tm, пленка состоит из чередующихся участков Iи s, отвечающих жидкой и кристаллической областям соответственно (рис. 94).
Рис. 94. Геометрическая модель метастабильной пленки: L - характерный размер областей, отвечающих фазам Iи .s, , s'подложка.
Учитывая малость межфазной энергии σslна границе между кристаллом 5 и собственным расплавом I, при L»hсоответствующим вкладом в свободную энергию пленки можно пренебречь (/? - толщина пленки). Тогда для свободной энергии Гиббса Gsкристаллической области и образовавшегося из нее жидкого участка G1имеем
188
отвечающей пленке. В дальнейшем вторым слагаемым в левой части (4.21) пренебрегаем ввиду его малости. Вводя далее макроскопическую удельную теплоту плавления
окончательно находим
Полагая, что
формулу (4.22) можно переписать в виде
В приближении «толстого» слоя cosи CD1не будут зависеть от h,причем для свободной пленки ωs-ωl=2(σs-σl),а для пленки на подложке s' ωs-ωl =σs+ σss, -σl- σls,, где σ ss, - межфазное натяжение на границе между
кристаллической областью пленки и подложкой, σls, - межфазное натяжение на границе между расплавом и подложкой.
Тогда изменение температуры фазового перехода для свободной пленки и пленки на подложке можно найти по формулам:
Формула (4.24) для температуры плавления свободной пленки совпадает с соотношением, приведенным в монографии [134], а формула (4.25) была впервые предложена в [311] (непосредственный вывод соотношения (4.25) приведен с некоторыми добавлениями в целях более полного восприятия). В приближении толстой пленки различием между hsи H1можно пренебречь, положив hs = hl = h. К сожалению, величины σss,и σls,, фигурирующие в правой части соотношения (4.25), как правило, не известны. Соответственно, непосредственная проверка этой формулы затруднительна. В [311, 312] при учете вклада подложки в величину Δ7'за основу было взято выражение (4.24) и введена поправка, описывающая силовое поле твердой поверхности не через межфазное натяжение, а через ее одночастичный потенциал φ(z),определяемый как потенциальная энергия атома пленки, находящегося на расстоянии zот подложки, и обусловленная силовым полем твердой поверхности. В рамках такого подхода к правой части соотношения (4.24) необходимо добавить разность энергий взаимодействия между пленкой и подложкой в твердом и жидком состояниях:
где а - эффективный диаметр атома пленки. К сожалению, прямые оценки одночастичного потенциала возможны только для простейших модельных систем, например для леннард-джонсовских систем, а также систем, в которых и подложка и пленка представлены металлами или полупроводниками, не взаимодействующими химически и не растворяющимися друг в друге. В связи с
этим целесообразно выразить вклад подложки через разность работ адгезии пленки в жидком W1и в твердом Wsсостояниях:
а
Работа адгезии жидкой пленки будет приблизительно равна работе адгезии жидкости на той же подложке.
При этом она связана с равновесным краевым углом смачивания θeуравнением Дюпре
работа когезии. C учетом этого соотношение (4.26) перепишется в виде
т
Рис. 95. Размерные зависимости Рис. 96. Приведенные размерные
температур плавления пленок меди зависимости температур плавления (верхняя кривая) и олова (нижняя меди (верхняя кривая) и олова (нижняя кривая) на границе с тем же металлом кривая) на углеродной подложке, при наличии скин-слоя толщиной X = I нм [314] (здесь взято максимальное значение толщины скин-слоя при фазовом переходе, полученное методом молекулярной динамики). Пунктир обозначает соответствующее
экспериментальное макроскопическое значение температуры плавления.
Формула (4.28) предсказывает эффект уменьшения величины Δ7'под влиянием подложки при pif >/у(оо) и эффект увеличения указанной величины для пленок, представленных аномальными веществами рС’
Еще по теме Термодинамический подход к проблеме размерной зависимости температуры плавления тонких пленок:
- Глава 4. Термодинамический подход к исследованию размерных зависимостей термодинамических характеристик наночастиц (температура плавления, температура кристаллизации, теплота плавления, удельная свободная поверхностная энергия)
- Теоретическое рассмотрение размерной зависимости температуры плавления наночастиц
- Расчет размерных зависимостей температуры плавления и кристаллизации металлических нанокластеров
- О взаимосвязи размерных зависимостей температур плавления и кристаллизации наночастиц металлов
- Расчет размерных зависимостей теплот плавления и кристаллизации наночастиц металлов
- Влияние температуры отжига на фазовое состояние, микроструктуру и состав тонких пленок ЦТС
- Температурные измерения диэлектрических характеристик тонких пленок ЦТС
- Фазовый анализ тонких пленок ЦТС
- Глава 3. Результаты исследований фазового состояния, структуры и состава тонких пленок ЦТС
- О влиянии поверхностных и объемных дефектов на термодинамические и структурные характеристики наночастиц алюминия при плавлении
- Изменение свойств тонких пленок ЦТС при вариации давления рабочего газа
- 4.2 Исследование самополяризованного состояния и локальной поляризации тонких пленок ЦТС методом силовой микроскопии пьезоэлектрического отклика.